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ews center两用无油真空泵的应用领域非常广泛,下面小编从几个方面来说一下:
1、无油真空泵是半导体刻蚀的工艺。在这些生产工艺中往往会用到或者是生成腐蚀性气体和研磨的微粒;
2、两用无油真空泵低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;
3、在食品、医药、化学等工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,防止有机溶剂造成的污染比较适合用无油真空泵;
4、除了半导体工艺外的某些微粒的工艺,不是希望微粒混入泵油中,而是希望微粒排出泵外,用形式的真空泵是可以满足要求的;
5、用作一般的无油真空系统的前级泵,以防止油污染。
近些年来,无油真空泵得到了迅速的发展,不仅很多公司研制使用新型的真空泵,许多单位也一直对真空泵进行研究。现在真空泵分为接触型和非接触型,它们的特点各部相同,可以根据它们的用途不同,再加上自己的需求选择合适的真空泵。(两用无油真空泵
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