与普通设备相比的2XZ系列旋片式真空泵

2XZ系列旋片式真空泵由两个工作室组成，两室前后串联，同向等速旋转，Ⅰ室是低真空级，Ⅱ室是高真空级，被抽气体由进气口进入Ⅱ室。当进入的气体压力较高时，气体经Ⅱ室压缩，压强急速增大，被压缩的气体不仅从排气阀排出，而且经过中壁通道，进入Ⅰ室，在Ⅰ室被压缩，从低级排气阀排出。当进入Ⅱ室的气体压力较低时，虽经Ⅱ室的压缩，也推不开排气阀排出，气体全部经中壁通道进入Ⅰ室，经Ⅰ室的继续压缩，由低级排气阀排出，因此2XZ系列旋片式真空泵比单级旋片式真空泵的真空高。