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ews center2XZ系列旋片式真空泵告诉我们要正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气,因而,有时我们选用作为一种泵不能得到满足抽气要求,需要通过几种泵组合发展起来,互相补充才能好满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射金属离子泵,对氩有的抽速,两者进行组合发展起来,便会使一个真空系统装置可以得到具有较好的真空度。另外,有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空。有的真空泵进行出口压强低于标准大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合发展起来可以使用。
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